در روش EBSD ستونی از الکترونها در SEM به سمت بک نمونهً کریستالی که تحت زاویه خاصی قرار گرفته، هدایت می شود. در اثر برخورد الکترونها با اتمها در شبکهً کریستالی واکنشهای مختلفی رخ می دهد و برخی از الکترونها از نمونه خارج می شوند. اگر یک صفحه فسفری فلوئوروسنت در نزدیکی نمونه قرار دهیم، الگویی روی صفحه تشکیل می شود که علت تشکیل آن اختلاف در میزان شدت الکترونهای خارج شده از نمونه بواسطه تغییر جهت آنها است.
به این الگو، الگوی پراش گویند که ظاهری جالب دارد.
تقارن و ظاهر الگوی پراش مرتبط با ساختار کریستالی نقطه مورد بررسی است که اشعه به آن برخورد کرده است.
اگر کریستال بچرخد(به عبارت دبگر جهت گبری آن تغییر کند) مشاهده می شود که الگوی پراش جابجا می شود.
با تغییر دادن ماده مورد تحقیق الگوی پراش تغییر می کند. بنابراین الگوی پراش را میتوان برای تعیین جهت گیری کریستال و نوع ماده به کار برد.
نمایی از چگونگی چرخاندن قطعه و صفحه فسفری در محفظه میکروسکوپ
الگوی پراش الکترونهای برگشتی حاصل از فلز نیکل
شکل بالایی تصویر SEM مربوط به ریزساختار یک فولاد زنگ نزن است. الگوی پراش و جهت گیری کریستالی مربوط به نقطه آبی رنگ مشخص شده در تصویر بالا در زیر آن نشان داده شده است.الگوی پراش با قرار دادن یک پرتو ثابت در نقطه مزبور به دست آمده است.
آنالیز ریزساختاری با استفاده از روش EBSD
ریزساختار به علت اینکه نشان دهنده بسایری از خواص فیزیکی مواد می باشد، از اهمیت بالایی برخوردار می باشد.
برای نمونه، اندازه دانه بر استحکام کششی تاثیر داشته و خواص مرزدانه ها مشخص کننده چگونگی رخ دادن پدیده شکست در مواد هستند.
تصاویر حاصل از هر دو میکروسکوپ نوری و روبشی برای ارزیابی مواد به کار می روند. پولیش کردن و اج نمودن مواد محل دانه ها ومرزدانه ها را مشخص می نماید. از طرفی این روشها قادر به آشکار سازی تمامی دانه ها نیستند.
اینجاست که لزوم استفاده از روش EBSD احساس می شود. با این روش می توان جهت گیری کریستال استفاده نمود و این روش باید قادر باشد بدون هیچ گونه ابهامی موقعیت تمامی دانه ها و مرزدانه ها را نشان دهد.
از این روش برای تهیه نقشه های جهت گیری کریستالی، با استفاده از اسکن کردن نمونه توسط پرتو الکترونی و اندازه گیری جهت گیری الگوی پراش در هر نقطه ، استفاده می شود. در این نقشه نقاط با جهت گیری کریستالی یکسان با رنگ یکسان نشان داده می شوند. در نقشه ها یک دانه منطقه ای از نمونه است که جهت گیری کریستال در یک تلرانس زاویه جهت گیری خاص یکسان است.. می توان با پردازش این نقشه ها به طور دقیق محل تمامی دانه ها و مرزدانه ها را نشان داد.
روشEBSD به واسطه ایجاد پلی بین ریزساختار و بلورشناسی روش منحصر به فردی است. این روش مکمل روشهای معمول آنالیز بوده که با فراهم سازی اطلاعات قطعی وصریح درباره جهت گیری کریستالی داخل نمونه این روشها را کامل می کند.
ریزساختار آشکار شده از سطح یک نمونه بوسیله اچ کردن شیمیایی
این شکل نشان دهنده نقشه جهت گیری کریستالی از نمونه مشابه بوده که در آن جهت گیری های یکسان همرنگ هستند.
موقعیت مرزدانه ها . رنگهای متفاوت نشانگر جهت گیری های مختلف مرزدانه ها هستند.
